>>207
水酸化ナトリウム溶液は強塩基性で露光済みの部分まで溶解力がある。
だったら溶液濃度を薄めれば？ と思うでしょ。でもこれが溶液温度、時間で案外とシビア。
炭酸ナトリウムの方が、露光部分と未露光部分との溶解度の差が得られやすいのと、
温度の許容が大きく、またレジスト膜の膨潤が抑えられる。膨潤すると剥離してしまう。