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■非平衡プラズマを用いるダイヤモンド合成
catalog.lib.kyushu-u.ac.jp/handle/2324/22467/matsumoto2.pdf

反応性に富む原子状水素をはじめとした活性ラジカルを作る方法として、気体放電によるプラズマを用いることはよく知られている。この気体放電のうち、
低気圧ガスのグロー放電による低温プラズマは、電子温度が約１０の４乗Ｋと高いが、原子、分子、イオンの重粒子温度は１０の２乗から１０の３乗Ｋと低く
非平衡プラズマと呼ばれている。
（中略）
　マイクロ波放電は高周波放電の一種であり、無極放電ができ、さらに水素や酸素の原子状ラジカルの発生によいとされていたからである。