コメントありがとうございます。
100MΩ:キーサイト34401A
50MΩ:フルーク8845A
-20MΩ:日置DT4256です
そもそも日置は60MΩまでしか測れないスペックですが、-20って何って感じです。

校正はしてて、単抵抗測っても妥当な値は出ます。

興味本位で、オシロ、プローブって本当にスペックの抵抗値出るの?って思って測ったのですが、迷宮入りしてしまいました。。