みなさん回答ありがとうございます。
でんげん
負荷電流は1A、ゲート抵抗は10Ωです。抵抗を22Ω以上では誤動作はしなくなりました。ゲート-ソース間は10k抵抗で接続しています。波形は今外なのでアップできません、すいません。
ローサイドドライバからMOSFETまで、5mmぐらいです。太さは1mm、35um。
誤動作時ローサイドドライバとマイコンからのパルスは同期していました。GNDが触れている？のでしょうか。負荷なしの場合、綺麗なパルスが見えています。
GNDは分離して一点アースしています。
ソレノイド直近は配線の都合上難しいです。
素子はすべてSiです。SiCは高くて手が届きません