容量-デジタルコンバータ
http://www.analog.com/media/jp/technical-documentation/data-sheets/AD7745_7746_JP.pdf

分解能だけど4aFとか。 
フェムト(f:10^-15)はOPアンプのバイアス電流のオーダで見るけど、アト(a:10^-18)はちょっとない